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标题
Influence of sputtering power on crystal quality and electrical properties of Sc-doped AlN film prepared by DC magnetron sputtering
溅射功率对直流磁控溅射制备Sc掺杂AlN薄膜晶体质量和电学性能的影响
相关领域
溅射 材料科学 薄膜 钪 溅射沉积 表面粗糙度 Crystal（编程语言） 电阻率和电导率 半最大全宽 兴奋剂 分析化学（期刊） 氮化物 光电子学 复合材料 冶金 纳米技术 化学 电气工程 图层（电子） 工程类 程序设计语言 色谱法 计算机科学
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.09.155
DOI
10.1016/j.apsusc.2013.09.155 doi
求助人
风中的夕阳 在 2025-07-08 13:15:12 发布自美国，悬赏 10 积分
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