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 Fluoro-alcohol materials with tailored interfacial properties for immersion lithography 用于浸没光刻的具有定制界面性质的氟醇材料
相关领域
抵抗
浸没式光刻
材料科学
接触角
含氟聚合物
平版印刷术
沉浸式（数学）
聚合物
溶解
纳米技术
复合材料
化学工程
光电子学
图层（电子）
工程类
纯数学
数学
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Daniel P. Sanders; Linda K. Sundberg; Ratnam Sooriyakumaran; Phillip J. Brock; Richard A. DiPietro; et al 出版日期：2007-03-16 |
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