Characterization and optimization of dry releasing for the fabrication of RF MEMS capacitive switches

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标题	Characterization and optimization of dry releasing for the fabrication of RF MEMS capacitive switches
网址	https://validate.perfdrive.com/fb803c746e9148689b3984a31fccd...
DOI	10.1088/0960-1317/17/10/014 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：A. Yu; A. Liu; J. Oberhammer; Q. Zhang; H. M. Hosseini 出版日期：2007-10-01
求助人	海绵鲍勃在 2026-08-03 11:25:36 发布自广东，悬赏 10 积分
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