Deep learning based defect classification and detection in SEM images: a mask R-CNN approach

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标题	Deep learning based defect classification and detection in SEM images: a mask R-CNN approach
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2618178
DOI	10.1117/12.2618178 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI 作者：Bappaditya Dey; Enrique Dehaerne; Sandip Halder; Philippe Leray; Magdy A. Bayoumi 出版日期：2022-07-12
求助人	舒服的幼荷在 2026-09-20 23:45:49 发布自美国，悬赏 20 积分
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