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标题
[高分] 学位论文 High-volume thermal atomic layer deposition of plasma-resistant yttrium oxide thin films for industrial protective coating applications. Master's Thesis, Aalto University, 2024. Water adsorption issue identified in high-volume Y(MeCp)₃/H₂O ALD
网址
https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/128820
DOI
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求助人
九思 在 2026-09-16 15:38:57 发布自江苏，悬赏 50 积分
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  • 7小时前

    九思 九思 Lv33 求助人 发起了本次求助

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