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 Enabling 3D NAND bit cost scaling with merged etches 相关领域
材料科学
缩放比例
光电子学
合并（版本控制）
蚀刻（微加工）
与非门
计算机科学
短通道效应
限制
电子工程
氧化物
毯子
动态随机存取存储器
电介质
频道（广播）
计算机硬件
可靠性（半导体）
过程控制
电气工程
图层（电子）
纳米技术
随机存取存储器
过程（计算）
存储单元
非易失性存储器
过程集成
逻辑门
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：John Hoang; George Matamis; Calvin Pham; Hao Chi; Jonathan Church; et al 出版日期：2026-06-08 |
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