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标题
Preparation of device‐quality SiO2 thin films by remote plasma‐enhanced chemical vapour deposition (PECVD): Applications in metal‐oxide‐semiconductor (MOS) devices
网址
https://doi.org/10.1002/(sici)1099-0712(199603)6:2
DOI
10.1002/(sici)1099-0712(199603)6:2 doi
其它 期刊：Advanced Materials for Optics and Electronics
作者：G. Lucovsky
出版日期：1996-03-01
求助人
DWJ 在 2026-07-28 23:10:34 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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