| 标题 |
 Wafer-scale fabrication and growth mechanism investigation of silicon-based AlN piezoelectric films with c-axis orientation by magnetron sputtering 相关领域
材料科学
溅射沉积
溅射
成核
表面粗糙度
薄脆饼
基质（水族馆）
制作
薄膜
复合材料
硅
热扩散率
光电子学
半最大全宽
表面光洁度
动力学蒙特卡罗方法
纹理（宇宙学）
钨
沉积（地质）
压电
粒度
微电子机械系统
电子工程
高功率脉冲磁控溅射
体积流量
压力（语言学）
腔磁控管
氮化物
表面扩散
纳米技术
衍射
外延
残余应力
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期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Bo Zheng; Zhenzhen Pang; Zheng Zhang; Jianglin Yin; Pengwei Tan; et al 出版日期：2025-10-20 |
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