Wafer-scale fabrication and growth mechanism investigation of silicon-based AlN piezoelectric films with c-axis orientation by magnetron sputtering

材料科学 溅射沉积 溅射 成核 表面粗糙度 薄脆饼 基质（水族馆） 制作 薄膜 复合材料 硅 热扩散率 光电子学 半最大全宽 表面光洁度 动力学蒙特卡罗方法 纹理（宇宙学） 钨 沉积（地质） 压电 粒度 微电子机械系统 电子工程 高功率脉冲磁控溅射 体积流量 压力（语言学） 腔磁控管 氮化物 表面扩散 纳米技术 衍射 外延 残余应力