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 Study of the beam blur and its effect on the future mask fabrication 相关领域
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Sang-Hee Lee; Sungho Park; Mihye Ahn; Jonggul Doh; Sungyoon Kim; et al 出版日期：2006-10-06 |
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