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 A Study on SADP Film Stack Selection for Line Roughness Improvement in Planar 1Xnm NAND Flash 用于平面1Xnm NAND Flash线粗糙度改善的SADP膜叠层选择研究
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期刊： 作者：Yinan Ma; Jun Wang; Xuan Liu; Liang Du 出版日期：2024-03-17 |
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