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Design and Fabrication of Bulk Micromachined 4H-SiC Piezoresistive Pressure Chips Based on Femtosecond Laser Technology |
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期刊:Micromachines 作者:Lukang Wang; You Zhao; Yulong Zhao; Yu Yang; Taobo Gong; et al 出版日期:2021-01-06 |
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