Study on Si-contamination in Developable BARC (DBARC) in High-K Metal Gate Process

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标题	Study on Si-contamination in Developable BARC (DBARC) in High-K Metal Gate Process
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/11551148/11551169/115512...
DOI	10.1109/asmc69324.2026.11551220 doi
其它	期刊：Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 作者：Wenbin Wu; Lei Zhang; Xiao-Jing Li; Yong-Feng Fu 出版日期：2026-05-11
求助人	wei0117 在 2026-10-11 01:19:25 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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