Metrology of thin resist for high NA EUVL

已完结

文献求助详情

标题	Metrology of thin resist for high NA EUVL
网址	https://doi.org/10.1117/12.2614046
DOI	10.1117/12.2614046 doi
其它	期刊：暂无作者：Gian F. Lorusso; Christophe Béral; Janusz Bogdanowicz; Danilo De Simone; Mahmudul Hasan; et al 出版日期：2022-05-26
求助人	樊珩在 2026-09-30 00:09:10 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: jarenthar完成签到，获得积分0

1秒前; CipherSage上传了应助文件

10秒前; fjkssadjk发布了新的文献求助20

14秒前; 温软九三发布了新的文献求助10

16秒前; Anne完成签到，获得积分10

20秒前; 斯文败类的应助被温软九三采纳，获得10

25秒前; Shrine完成签到，获得积分10

26秒前; wangdong发布了新的文献求助10

31秒前; 欢喜怀蝶完成签到，获得积分10

36秒前; 科研通AI6.2的应助被伊比利亚的微风采纳，获得10

36秒前; 星辰大海上传了应助文件

37秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

38秒前; Lucas的应助被fuzh采纳，获得10

38秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

42秒前; 不三发布了新的文献求助10

43秒前; 今后的应助被tang采纳，获得10

43秒前; Lucas上传了应助文件

44秒前; AA发布了新的文献求助10

48秒前; 梓亮完成签到，获得积分10

49秒前; 英姑上传了应助文件

50秒前; fuzh发布了新的文献求助10

50秒前; 写得出发的中发布了新的文献求助10

52秒前; xin发布了新的文献求助10

53秒前; fjkssadjk发布了新的文献求助20

58秒前; 科研通AI6.2的应助被不三采纳，获得10

59秒前; 季夏聆风吟完成签到，获得积分10

1分钟前; 自觉康乃馨完成签到，获得积分10

1分钟前; 酷波er上传了应助文件

1分钟前; overThat完成签到，获得积分10

1分钟前; 写得出发的中完成签到，获得积分10

1分钟前; zzz发布了新的文献求助10

1分钟前; 拼搏的水桃完成签到，获得积分10

1分钟前; 情怀的应助被zzz采纳，获得10

1分钟前; herococa上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; null的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 安静的卿完成签到，获得积分10

1分钟前; 矩阵新解完成签到，获得积分10

1分钟前; 欣慰小夏完成签到，获得积分10

1分钟前; sss完成签到，获得积分10

1分钟前