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标题
Properties of dc magnetron reactively sputtered TiN
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/4/6/1377/11755625/1...
DOI
10.1116/1.583461 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
作者：Jim Stimmell
出版日期：2002-07-27
求助人
粉蒸肉 在 2026-10-29 15:27:49 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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