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标题
Organotin in Nonchemically Amplified Polymeric Hybrid Resist Imparts Better Resolution with Sensitivity for Next-Generation Lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1021/acsapm.0c00005
DOI
10.1021/acsapm.0c00005 doi
其它 期刊：ACS Applied Polymer Materials
作者：Jerome Peter; Mohamad G. Moinuddin; Subrata Ghosh; Satinder K. Sharma; Kenneth E. Gonsalves
出版日期：2020-04-06
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六便士在攒 在 2026-09-29 14:37:04 发布自安徽，悬赏 10 积分
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