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 Parametric Model of Resonant Differential MEMS Pressure Sensors: Enabling Rapid Structural Optimization and Automated Layout Design 谐振差分MEMS压力传感器的参数化模型：实现快速结构优化和自动化布局设计
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Aobei Chen; Ge Gao; Dapeng Li; Rui Na; Dezhi Zheng 出版日期：2024-11-21 |
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