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标题
Study of the Influence of the Energy of Argon Ions on the Surface Roughness of the Main Sections of Single-Crystal Silicon
氩离子能量对单晶硅主要截面表面粗糙度影响的研究
相关领域
材料科学 离子 表面粗糙度 Crystal(编程语言) 表面光洁度 曲面(拓扑) 单晶 能量(信号处理) 原子物理学 光电子学 复合材料 结晶学 物理 化学 几何学 计算机科学 量子力学 程序设计语言 数学
网址
DOI
10.1134/s1063784224020233 doi
其它 期刊:Technical Physics
作者:M. S. Mikhailenko; А. Е. Пестов; A. K. Chernyshev; М. V. Zorina; Н. И. Чхало; et al
出版日期:2024-03-01
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