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 Spectroscopic ellipsometry of a-Si/SiO 2 large waveband coating for the JWST-FGS-TFI etalon plates fabrication 用于JWST-FGS-TFI标准具板制作的a-Si/SiO 2大波段涂层的椭圆偏振光谱
相关领域
制作
法布里-珀罗干涉仪
椭圆偏振法
材料科学
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光学
光学涂层
涂层
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光电子学
薄膜
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波长
物理
医学
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Michel Poirier; Clinton Evans; C. S. Haley; D. Touahri; René Doyon 出版日期：2010-08-12 |
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