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 Fabrication of Silicon-Oxide Thin Film by Using Ionized Physical Vapor Deposition and Application to Gate Insulators in Transparent Thin-Film Transistors 相关领域
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Woo‐Seok Cheong; Chi‐Sun Hwang; Jae‐Heon Shin; Sang‐Hee Ko Park; Sung‐Min Yoon; et al 出版日期：2009-01-15 |
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