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Wafer-level and highly controllable fabricated silicon nanowire transistor arrays on (111) silicon-on-insulator (SOI) wafers for highly sensitive detection in liquid and gaseous environments 在(111)绝缘体上硅(SOI)晶片上制造的晶片级和高度可控的硅纳米线晶体管阵列,用于在液体和气体环境中进行高灵敏度检测
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期刊:Nano Research 作者:Xun Yang; Anran Gao; Yuelin Wang; Tie Li 出版日期:2017-09-13 |
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