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标题
Impact of varying wet oxidation temperature in the presence of nitrogen flow on hafnium tantalum oxide films
氮气流存在下不同湿氧化温度对铪钽氧化物薄膜的影响
相关领域
材料科学 氧化物 铪 分析化学（期刊） 钽 等效氧化层厚度 无定形固体 三元运算 电介质 相（物质） 化学工程 锆 冶金 结晶学 栅氧化层 电压 光电子学 化学 物理 有机化学 色谱法 晶体管 量子力学 计算机科学 程序设计语言 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.09.076
DOI
10.1016/j.ceramint.2023.09.076 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Way Foong Lim; Hock Jin Quah
出版日期：2023-09-10
求助人
lim 在 2025-08-04 21:28:10 发布，悬赏 10 积分
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