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 Formation of germanium nanocrystals and amorphous nanoclusters in GeSiOx films using electron beam annealing 电子束退火在GeSiOx薄膜中形成锗纳米晶和非晶纳米团簇
相关领域
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期刊：Vacuum 作者：Fan Zhang; В. А. Володин; Е. А. Баранов; В. О. Константинов; В. Г. Щукин; et al 出版日期：2021-12-09 |
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