Non-ionic photo-acid generators for next-generation EUV photoresists - 科研通

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标题	Non-ionic photo-acid generators for next-generation EUV photoresists 用于下一代EUV光致抗蚀剂的非离子光酸发生器相关领域极紫外光刻离子键合光电子学抵抗材料科学计算机科学纳米技术化学离子有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3050818
DOI	10.1117/12.3050818 doi
其它	期刊：作者：Madan R. Biradar; Kyung Hee Oh; Chaolei Ban; Jae Hyun Kim; Rachel L. Snyder; et al 出版日期：2025-04-22
求助人	雪糕在 2025-10-30 10:32:47 发布自上海，悬赏 20 积分
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