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标题
The Removal Mechanism of Monocrystalline Si in the Process of Double Diamond Abrasive Polishing by Molecular Dynamics Simulation
相关领域
抛光 磨料 材料科学 化学机械平面化 表面粗糙度 钻石 薄脆饼 磨损(机械) 复合材料 表面光洁度 冶金 纳米技术
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DOI
10.1007/s11249-021-01445-7 doi
其它 期刊:Tribology Letters
作者:Houfu Dai; Haixia Yue; Yang Hu; Ping Li
出版日期:2021-04-26
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