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 Characterization Of SiO2/Si Interface Using Secondary Ion Mass Spectrometry(Sims) And Laser Post-Ionization Sputtered Neutral Mass Spectrometry(Snms) 二次离子质谱（Sims）和激光后电离溅射中性质谱（Snms）表征SiO2/Si界面
相关领域
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期刊：Microscopy and Microanalysis 作者：Shinpei Hayashi; Katsuyuki Yanagihara 出版日期：1999-08-01 |
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