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 Study of the deposition of nanopillar-patterned 4H-SiC by molecular dynamics simulation 纳米柱状4H-SiC沉积的分子动力学模拟研究
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期刊：Applied Surface Science 作者：Lianghao Xue; Gan Feng; Gai Wu; Shizhao Wang; Rui Li; et al 出版日期：2021-12-16 |
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