Development of High-Throughput Batch-Type Epitaxial Reactor

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标题	Development of High-Throughput Batch-Type Epitaxial Reactor 高通量间歇式外延反应器的研制相关领域外延制作材料科学吞吐量过程（计算）光电子学体积热力学纳米技术频道（广播）工艺工程工程物理计算机科学电气工程工程类图层（电子）操作系统物理病理医学替代医学无线量子力学
网址	https://doi.org/10.1149/1.2355879
DOI	10.1149/1.2355879 doi
其它	期刊：ECS transactions 作者：Yasuo Kunii; Yoshiya Inokuchi; Jie Wang; Katsuhiko Yamamoto; Atsushi Moriya Moriya; et al 出版日期：2006-10-20
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