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标题
DSA patterning options for FinFET formation at 7nm node
7nm节点形成FinFET的DSA构图选择
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2219670
DOI
10.1117/12.2219670 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Chi-Chun Charlie Liu; Elliott Franke; Fee Li Lie; Stuart Sieg; Hsinyu Tsai; et al
出版日期：2016-03-22
求助人
Frank 在 2024-04-25 10:48:36 发布自上海，悬赏 20 积分
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