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Effects of Substrate Bias and Ar Pressure on Growth of α-phase in W Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
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网址
https://doi.org/10.1007/s13391-022-00399-9
DOI
10.1007/s13391-022-00399-9 doi
其它 期刊：Electronic Materials Letters
作者：Seon Mi Ahn; Gil Su Jang; Du Yun Kim; Nong‐Moon Hwang
出版日期：2022-12-29
求助人
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