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Effects of Substrate Bias and Ar Pressure on Growth of α-phase in W Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

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作者

Seon Mi Ahn,Gil Su Jang,Du Yun Kim,Nong‐Moon Hwang

出处

期刊：Electronic Materials Letters [Springer Nature]
日期：2022-12-29 卷期号：19 (3): 298-308 被引量：7

标识

DOI：10.1007/s13391-022-00399-9

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