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标题
Hotspot Prediction: SEM Image Generation With Potential Lithography Hotspots
热点预测：具有潜在光刻热点的SEM图像生成
相关领域
热点（地质） 平版印刷术 计算机科学 人工智能 深度学习 集成电路 生成对抗网络 半导体器件制造 分割 模式识别（心理学） 材料科学 纳米技术 薄脆饼 光电子学 地质学 地球物理学 操作系统
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2023.3327784
DOI
10.1109/tsm.2023.3327784 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Jaehoon Kim; Jaekyung Lim; Jinho Lee; Tae-Yeon Kim; Yunhyoung Nam; et al
出版日期：2023-10-26
求助人
华仔 在 2025-12-26 18:43:32 发布自广东，悬赏 10 积分
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