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  Approaches to Sustainability in Chemical Mechanical Polishing (CMP): A Review 化学机械抛光（CMP）的可持续性方法：综述
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期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology 作者：Hyunseop Lee; Hyoungjae Kim; Haedo Jeong 出版日期：2021-11-26 |
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