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  Influence of α-Al2O3 Template and Process Parameters on Atomic Layer Deposition and Properties of Thin Films Containing High-Density TiO2 Phases α-Al2O3模板和工艺参数对含高密度TiO2相薄膜原子层沉积和性能的影响
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期刊：Coatings 作者：Kristel Möls; Lauri Aarik; Hugo Mändar; Aarne Kasikov; Taivo Jõgiaas; et al 出版日期：2021-10-21 |
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