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 Femtosecond laser micromachining of silicon with an external electric field 外电场飞秒激光微加工硅
相关领域
表面微加工
材料科学
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：H. Y. Zheng; Z. Jiang 出版日期：2009-11-18 |
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