Femtosecond laser micromachining of silicon with an external electric field

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标题	Femtosecond laser micromachining of silicon with an external electric field 外电场飞秒激光微加工硅相关领域表面微加工材料科学微电子激光器硅基质（水族馆）飞秒电场光电子学光学制作病理地质学物理海洋学替代医学医学量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/1/017001
DOI	10.1088/0960-1317/20/1/017001 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：H. Y. Zheng; Z. Jiang 出版日期：2009-11-18
求助人	jenninelzl 在 2025-07-24 15:13:04 发布自北京，悬赏 10 积分
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