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 Fabrication of refractive microlenses in semiconductors by mask shape transfer in reactive ion etching 反应离子刻蚀掩模形状转移制备半导体折射微透镜
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：E. Strzelecka; G. D. Robinson; L.A. Coldren; Evelyn L. Hu 出版日期：1997-02-01 |
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(2025-6-4)
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