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标题
Fabrication of refractive microlenses in semiconductors by mask shape transfer in reactive ion etching
反应离子刻蚀掩模形状转移制备半导体折射微透镜
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(96)00206-7
DOI
10.1016/s0167-9317(96)00206-7 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：E. Strzelecka; G. D. Robinson; L.A. Coldren; Evelyn L. Hu
出版日期：1997-02-01
求助人
丁岩 在 2025-07-31 19:23:13 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 3个月前

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