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Homoepitaxial growth of (100) Si-doped β-Ga2O3 films via MOCVD
(100)Si掺杂β-Ga2O3薄膜的MOCVD同向外延生长
相关领域
金属有机气相外延 材料科学 兴奋剂 欧姆接触 外延 化学气相沉积 电子迁移率 表面粗糙度 分析化学(期刊) 光电子学 纳米技术 化学 图层(电子) 复合材料 色谱法
网址
DOI
10.1088/1674-4926/44/6/062801 doi
其它 期刊:Journal of Semiconductors
作者:Wenbo Tang; Xueli Han; Xiaodong Zhang; Botong Li; Yongjian Ma; et al
出版日期:2023-06-01
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Zhoey 在 2025-08-27 08:50:14 发布自浙江,悬赏 10 积分
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