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 Ultralow impact energy dynamic secondary ion mass spectrometry with nonfully oxidizing surface conditions 非完全氧化表面条件下的超低冲击能动态二次离子质谱
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：A. Merkulov 出版日期：2024-12-01 |
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