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 Nucleation Processes in Si CVD on Ultrathin SiO2 Layers 超薄SiO2层上Si CVD的成核过程
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期刊：MRS Proceedings 作者：Tetsuji Yasuda; Doo-Sup Hwang; Kazuyuki Ikuta; Satoshi Yamasaki; Kazunobu Tanaka 出版日期：1998-01-01 |
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