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 A new etching chemistry for carbon hard mask structures 碳硬掩模结构的新蚀刻化学
相关领域
甲烷
蚀刻（微加工）
碳纤维
制作
无定形固体
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Kevin A. Pears 出版日期：2004-12-16 |
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