A new etching chemistry for carbon hard mask structures

已关闭

文献求助详情

标题	A new etching chemistry for carbon hard mask structures 碳硬掩模结构的新蚀刻化学相关领域甲烷蚀刻（微加工）碳纤维制作无定形固体纳米技术化学聚合物无定形碳材料科学化学工程分析化学（期刊）环境化学有机化学复合材料图层（电子）复合数医学替代医学病理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2004.11.010
DOI	10.1016/j.mee.2004.11.010 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Kevin A. Pears 出版日期：2004-12-16
求助人	anyelengxin 在 2025-07-17 17:16:28 发布自天津，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

13天前，求助关闭

anyelengxin Lv1 求助人关闭了本次求助。

说明没人回应【积分已退回】
14天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:16:32 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:16:29 科研通AI机器人（英国伦敦）收到请求，开始寻找文献

17:16:29 已向机器人发送请求
14天前

anyelengxin Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: znchick完成签到，获得积分10

56秒前; 嘿嘿的应助被znchick采纳，获得10

1分钟前; kmzzy完成签到，获得积分10

1分钟前; 彭于晏的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; math完成签到，获得积分20

1分钟前; 紫熊发布了新的文献求助10

2分钟前; 黑大侠完成签到，获得积分10

2分钟前; Raul完成签到，获得积分10

2分钟前; Kelsey完成签到，获得积分10

2分钟前; 紫荆完成签到，获得积分10

3分钟前; 野性的柠檬关闭了野性的柠檬的文献求助

3分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 紫熊完成签到，获得积分10

3分钟前; 嘿嘿的应助被FIN采纳，获得70

4分钟前; CherylZhao完成签到，获得积分10

4分钟前; 野性的柠檬发布了新的文献求助30

4分钟前; dzll完成签到，获得积分10

4分钟前; 小桐学上传了应助文件

4分钟前; 嘿嘿的应助被FIN采纳，获得70

4分钟前; 野性的柠檬完成签到，获得积分10

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

5分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 李健的应助被科研通管家采纳，获得30

5分钟前; FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; poki完成签到，获得积分10

5分钟前; 小橘子吃傻子上传了应助文件

6分钟前; 辣辣辣辣辣辣完成签到，获得积分10

7分钟前; 小桐学上传了应助文件

7分钟前; 科研通AI5上传了应助文件

7分钟前; ding的应助被科研通管家采纳，获得10

7分钟前; 万能图书馆的应助被科研通管家采纳，获得10

7分钟前; 西红柿有饭吃吗发布了新的文献求助10

7分钟前; 西红柿有饭吃吗完成签到，获得积分20

7分钟前; 辣小扬完成签到，获得积分10

8分钟前; 小桐学给Chara_kara的求助进行了留言

8分钟前; 刘丰完成签到，获得积分10

8分钟前; 爱的魔力转圈圈完成签到，获得积分10

8分钟前; 菠萝包完成签到，获得积分10

8分钟前; 貔貅完成签到，获得积分10

8分钟前; Krim完成签到，获得积分10

9分钟前