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 Electrical characterization of wurtzite (Al,B)N thin films 纤锌矿（Al，B）N薄膜的电学特性
相关领域
材料科学
薄膜
纤锌矿晶体结构
氮化硼
电介质
微电子
光电子学
微晶
氮化铝
氮化物
介电常数
铝
复合材料
纳米技术
冶金
锌
图层（电子）
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期刊：Vacuum 作者：L. Liljeholm; Jörgen Olsson 出版日期：2011-10-15 |
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