Study of doped Cu on adjusting the TiZrV phase structure and improving the low temperature activated gettering performance

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标题	Study of doped Cu on adjusting the TiZrV phase structure and improving the low temperature activated gettering performance 掺杂Cu调节TiZrV相结构和提高低温活化吸杂性能的研究相关领域吸气剂材料科学兴奋剂扩散相（物质）空隙（复合材料）化学工程分析化学（期刊）光电子学复合材料热力学化学色谱法物理工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112569
DOI	10.1016/j.vacuum.2023.112569 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Lulu Wang; Deyu Guo; Xiaoqiang Xu; Huating Wu; Mengyuan You; et al 出版日期：2023-08-31
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