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 Microwave hydrogen plasma etching on the laser-cut surface of single crystal diamond: Phases, etching morphology, stress evolution and the effect of etching on the subsequent homoepitaxial growth 单晶金刚石激光切割表面的微波氢等离子体刻蚀：相、刻蚀形貌、应力演化及其对后续同质外延生长的影响
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Yongning Wei; Jie Gao; Zheng Ke; Yong Ma; Jiaqi Zhi; et al 出版日期：2024-02-23 |
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