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 Tantalum pentoxide (Ta2O5) thin films for advanced dielectric applications 用于高级电介质应用的五氧化二钽（Ta2O5）薄膜
相关领域
五氧化二钽
材料科学
钽
微电子
薄膜
电介质
光电子学
氧化物
等效氧化层厚度
纳米技术
高-κ电介质
图层（电子）
栅氧化层
冶金
电气工程
电压
晶体管
工程类
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