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标题
A surface-micromachined capacitive microphone with improved sensitivity
一种提高灵敏度的表面微加工电容传声器
相关领域
话筒 材料科学 微电子机械系统 电容感应 表面微加工 体微机械加工 灵敏度（控制系统） 光电子学 残余应力 制作 氮化硅 膜 压阻效应 声学 电压 电气工程 硅 复合材料 电子工程 工程类 化学 声压 医学 物理 替代医学 病理 生物化学
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/23/5/055018
DOI
10.1088/0960-1317/23/5/055018 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Chang Han Je; Jae Wook Lee; Woo Seok Yang; Jong-Dae Kim; Young-Ho Cho
出版日期：2013-04-09
求助人
清醒 在 2025-06-20 14:46:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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