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电子特气六氟丁二烯合成工艺进展
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电子特气六氟丁二烯合成工艺进展 郭晓俊1陈建平1张锐2 1.山东华宇同方电子材料有限公司2.燕京理工学院环境与健康学院 摘要：六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体，具有优异的蚀刻选择性和环保性能，应用前景广阔。主要介绍了现阶段六氟丁二烯的合成工艺路线及改进方向。 关键词： 六氟丁二烯;电子蚀刻;合成工艺; 基金资助： 廊坊市科学技术研究与发展计划自筹经费项目(2023011052)； 专辑： 工程科技Ⅰ辑 专题： 有机化工 分类号： TQ222.432 |
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(2025-6-4)
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