SiC via holes by laser drilling - 科研通

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标题	SiC via holes by laser drilling
网址	http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11664-004-0206...
DOI	10.1007/s11664-004-0206-7 doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：S. Kim; B. S. Bang; F. Ren; J. D’entremont; W. Blumenfeld; et al 出版日期：2007-04-06
求助人	liberty 在 2026-03-23 14:25:08 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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