Negative tone resist for grey-scale electron beam lithography

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标题	Negative tone resist for grey-scale electron beam lithography
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10685159/10685219/106852...
DOI	10.1109/omn61224.2024.10685227 doi
其它	期刊：2024 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN) 作者：Olli Ovaskainen; Tianlong Guo; Matthieu Roussey 出版日期：2024-09-28
求助人	bcc666 在 2026-06-10 15:51:57 发布自美国，悬赏 10 积分
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