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标题
Effect of atomic layer etching on the surface damage removal of GaN-based light emitting diodes
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164429
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.164429 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Chan Ho Kim; Jong Woo Hong; Woong Sun Lim; Ja Yeon Kim; Kyung Lim Kim; et al
出版日期：2025-08-30
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研友_Z33zkZ 在 2026-08-21 16:47:47 发布自山东，悬赏 10 积分
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