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标题
Effects of Electron Beam Lithography Process Parameters on the Structure of Nanoscale Devices Across Three Substrate Materials
网址
https://doi.org/10.3390/photonics12030226
DOI
10.3390/photonics12030226 doi
其它 期刊：Photonics
作者：Zhong-Yang Liu; Yue Chen; Xuanyu Li; Lu-Wei Wang; J. Qu
出版日期：2025-03-01
求助人
西格玛 在 2026-09-14 15:35:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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    科研通AI6.2 科研通AI6.2 机器人Lv12 上传了文件

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  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:35:11 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:35:08 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    15:35:06 已向机器人发送请求

  • 1天前

    西格玛 西格玛 Lv1 求助人 发起了本次求助

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